明暗场检测显微镜对于金属、陶瓷、电子半导体芯片有很好的成像效果。

明暗场检测显微镜

一．产品用途

SG-763NL明暗场检测显微镜广泛的应用于透明，半透明或不透明物质，比如金属陶瓷、电子半导体芯片、印刷电路、LCD基板、薄膜、纤维、颗粒状物体、镀层等材料表面的结构、痕迹，都能有很好的成像效果。

二．产品特点

1. 6″大行程移动工作台，面积445mm×240mm，行程158×158mm,可适用于相应尺寸的晶圆或FPD检测,也可用于小尺寸样品的阵列检测;

2. 高性能物镜转换器，转动手感轻巧舒适，重复定位精度高，物镜转换后的同心度也较好控制。

3. 观察方式：明场/暗场/偏振光/透射光/微分干涉（选购）

三．技术规格

1. 光学系统：无限远光学系统

2. 观察头：45°铰链式三目正像观察筒，瞳距52mm-75mm

3. 高眼点目镜：PL10X/22mm，视度可调

4. 无限远长工作距离明暗场金相物镜

5. 光学总放大倍率:50×-1000×

6. 物镜转换器：明暗场五孔内倾式转换器，带DIC插槽

7. 6″双层机械移动平台，面积445mm×240mm，行程158x 158mm，带金属平板平台，右手位X、Y轴移动手轮，可同时快速移动

8. 调焦机构：粗微调同轴、粗调行程33mm，微调精度0.001mm,，带粗调机构上限位及松紧调节装置。

9. 照明器系统：反射照明器系统： 12V100W卤素灯，光强连续可调

透射照明系统：单颗大功率5W LED

10. 简易偏光装置：起偏镜插板，360°旋转式检偏镜插板

11. 适配镜：直径59mm,放大倍率0.5倍 ，内调焦距：0～3mm调焦后可锁紧

12. 显微镜工业相机：图像传感器: 采用Sony CMOS传感器，像素630万；芯片靶面：1/1.8″；像素点尺寸：2.4μmx2.4m；分辨率：3072 x 2048；帧率：30fps全分辨率；G光灵敏度：0.15mv-425mv;曝光时间: 0.1ms-15ms；光谱响应范围：380-650nm(有红外截止滤光片情况下)；扫描方式:逐行扫描；快门:电子快门；数据接口:USB3.0；白平衡:ROI 白平衡/手动调整。

13. 软件功能：图像显示、图像拍摄、录像和图象处理功能，可以对所摄图像进行文字，比例尺显示；超景深扩展；长度，角度，弧长测量；点，线，平行线，垂直测量；园、椭圆测量；矩形，不规则形状的周长、面积、重心位置等几何参数测量。

来源：上海光学仪器一厂